全国各クラブの活動報告

埼玉・TDU産学交流会、高純度化学研を見学-半導体製造工程を見学

埼玉産業人クラブ・TDU産学交流会(佐藤達雄会長=アーベルソフト会長)は4月15日、埼玉県坂戸市の高純度化学研究所本社工場見学会を実施した。約5年前に新設した5階建ての同工場に於ける半導体材料や各種無機材料などの製造工程全般を見学。会員企業、大学などから13人が参加した。
見学会では、冒頭に宝地戸道雄高純度化学研究所社長があいさつ。その後、東京電機大学理工学部の卒業生で生産管理部購買課に勤める宮崎哲哉氏から、「スパッタリングターゲットなど半導体向け各種材料から無機材料まで幅広く扱っている。各種の機能加工を含め、分析や品質保証まで一貫して提供できるのが大きな強み」など同社の特長について説明を受けた。
その後、2組に分かれて工場内を見学。機械加工設備が集中する1階フロアでは、スパッタリングターゲット材を周囲から等圧で突き固める冷間等方向加圧装置(CIP)、1000KNプレス成形機などのほか、ワイヤカット放電加工機などを備えた機械加工室を見学。2階では、真空誘導溶解炉など材料の溶解工程を、3階では、電気炉などを使った無機材料製造工程などについて解説を聞いた。4階では、スパッタリングターゲット用の「真空蒸着機」や、小分け充填など出荷につながる工程について説明を受けた。
見学終了後も活発な質疑応答がなされるなど、参加者らの関心の高さがうかがえた。


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